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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
濃度計(jì)

濃度計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CM-200/210
  • 更新時(shí)間:2024-03-17
  • 產(chǎn)品介紹:實(shí)時(shí)顯示半導(dǎo)體制造工藝中的濃度為監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝中濃度而開(kāi)發(fā)出來(lái)的高精度濃度計(jì)。該設(shè)備通過(guò)采用電磁感應(yīng)導(dǎo)電率計(jì)測(cè)量并實(shí)時(shí)顯示濃度。適用于使用的制造工藝,例如:清洗蝕刻后的晶片。
  • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產(chǎn)品介紹

特點(diǎn)

實(shí)時(shí)顯示濃度
可以通過(guò)導(dǎo)電率傳感器檢測(cè)濃度,通過(guò)<導(dǎo)電率>-<氟酸濃度>的檢量線,自動(dòng)地實(shí)時(shí)顯示氟酸濃度。

實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造工藝中所使用的溶液的量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中,也實(shí)現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲(chǔ)器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。

確保穩(wěn)定檢測(cè)的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹(shù)脂模塊化,所以不會(huì)因溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且,金屬等不純物不會(huì)溶入到樣品溶液中,因此可以對(duì)其進(jìn)行穩(wěn)定的檢測(cè)。

裝有報(bào)警功能
為了實(shí)現(xiàn)更加可靠的工藝管理,分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報(bào)警輸出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型?輕便,適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且,具有浸沒(méi)到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途選擇。

測(cè)量原理

2個(gè)環(huán)狀螺線管(T1是通過(guò)交流電的勵(lì)磁變壓器、T2是檢測(cè)變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當(dāng)傳感器沉浸在溶液中時(shí),溶液將在2個(gè)環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個(gè)閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過(guò)一恒定的交流電流,則會(huì)在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場(chǎng),依照樣品的導(dǎo)電率電流i流過(guò)樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的磁場(chǎng),并且在T2的線圈中將會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。由于感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e(電壓)與樣品的電導(dǎo)率呈比例關(guān)系,通過(guò)測(cè)量e可得知電導(dǎo)率值。這樣經(jīng)過(guò)檢測(cè)的導(dǎo)電率和濃度存在高的關(guān)聯(lián)性,可以根據(jù)預(yù)已知的參考曲線計(jì)算得出并顯示濃度。

 

規(guī)格

測(cè)量原理

電磁感應(yīng)導(dǎo)電率檢測(cè)方式

檢測(cè)對(duì)象

水+溶液

量程

0?1/2/5/10/20HFwt%(請(qǐng)您在訂貨時(shí))

再現(xiàn)性

±2% F.S

響應(yīng)時(shí)間

90%響應(yīng)5秒以內(nèi)(恒溫條件下)

樣品條件

溫度:25±3℃
壓力:沉浸型0?0.02MPa、流通型0?0.1MPa

顯示

濃度:小顯示值0.001%(在0-1%量程中)
報(bào)警: 濃度上限、上上限、下限、下下限

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